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【201710350348.7】一种碳空心球与多孔掺硼金刚石复合膜传感器电极的制备方法

        转让/许可方名称:天津理工大学
        转让/许可底价(万元):面议
        挂牌截止时间:2025年1月10日

一种碳空心球与多孔掺硼金刚石复合膜传感器电极的制备方法。制备步骤如下:1)利用热丝CVD法在钽片上沉积掺硼金刚石膜,在腔室通入氢气,碳源和硼源,开灯丝电源,加偏压,调节压强和控制温度、时间;2)采用射频磁控溅射仪在掺硼金刚石膜上镀镍,向真空室通入氩气,开启溅射电源,调节压强和功率;3)利用直流电弧等离子体喷射CVD设备对掺硼金刚石进行刻蚀,通入氢气和氩气,开磁场控制电源,调腔压和泵压,控制温度和时间,制备出多孔掺硼金刚石;4)利用水热法制备碳空心球/多孔掺硼金刚石复合电极。将多孔掺硼金刚石投入β‑环糊精和F‑127混合悬浊液中,进行水热处理,取出后冷冻干燥,马弗炉中退火即制备复合电极。