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【201010156218.8】薄膜太阳电池用双层氧化锌透明导电薄膜及其制备方法
        转让/许可方名称：南开大学
        转让/许可底价（万元）：总付额内分期支付：采用总付额内分期支付的方式，在合同生效后30日内支付第一批次2000元，后在每个会计年度截止前的30日内，分5批次支付，每次支付5000元。包括第一次在内总共支付6次，共计27000元。
        挂牌截止时间：2030-01-01
一种薄膜太阳电池用双层氧化锌透明导电薄膜及其制备方法。该方法利用对沉积薄膜过程中沉积气氛的有效调控，实现同时具有(0001)结晶相的电荷传输层与结晶相的绒面散射层的双层ZnO薄膜结构。首先在衬底上沉积具有(0001)结晶相的ZnO多晶薄膜，随后在其上原位生长具有()结晶相的ZnO多晶薄膜，经过湿法腐蚀工艺处理后得到具有良好电学特性与陷光结构的透明导电氧化锌薄膜材料。本发明所述氧化锌为掺杂半导体，如ZnO:Al、ZnO:Ga、ZnO:B、ZnO:Mo、ZnO:W等n型半导体材料，可应用于非晶硅基、微晶硅基、纳米硅基薄膜的单结及多结太阳电池。
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