【202110248083.6】一种LSPR多波长窄带可调谐传感器-武清知识产权运营保护服务平台

【202110248083.6】一种LSPR多波长窄带可调谐传感器

        转让/许可方名称：天津理工大学
        转让/许可底价（万元）：面议
        挂牌截止时间：2025年1月10日

一种LSPR多波长窄带可调谐传感器，属于微纳光电子器件。在硅衬底上覆盖一层T2＝1600nm的SiO2，在SiO2上覆盖一层厚度为T1＝2200nm的氧化铝。将制备的石墨烯固定在Al2O3上，其上E字形金纳米颗粒周期排列。其周期P为1500nm，纳米颗粒长度和宽度t1＝600nm，t2＝120nm，t3＝440nm，厚度h＝30nm。本发明利用Au纳米颗粒有序阵列在非对称介质环境下与平板波导的耦合，产生Fano效应，得到多波长窄带反射谱。通过施加偏置电压或化学掺杂来改变石墨烯的费米能级，进而改变它的电导率，从而实现光谱的动态可调谐。