【202110248083.6】一种LSPR多波长窄带可调谐传感器 |
转让/许可方名称:天津理工大学
转让/许可底价(万元):面议
挂牌截止时间:2025年1月10日
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一种LSPR多波长窄带可调谐传感器,属于微纳光电子器件。在硅衬底上覆盖一层T2=1600nm的SiO2,在SiO2上覆盖一层厚度为T1=2200nm的氧化铝。将制备的石墨烯固定在Al2O3上,其上E字形金纳米颗粒周期排列。其周期P为1500nm,纳米颗粒长度和宽度t1=600nm,t2=120nm,t3=440nm,厚度h=30nm。本发明利用Au纳米颗粒有序阵列在非对称介质环境下与平板波导的耦合,产生Fano效应,得到多波长窄带反射谱。通过施加偏置电压或化学掺杂来改变石墨烯的费米能级,进而改变它的电导率,从而实现光谱的动态可调谐。